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    保證連通層可分解性之三圖樣微影感知細部繞線
    • /104/ 碩士
    • 研究生: 吳華逸 指導教授: 方劭云
    • 由於下一代微影技術的延遲,對於現今10 奈米的製程節點,多 圖樣微影技術仍然是突破微影極限的主要方案。在本篇論文中,我們 提出一個保證連通層可分解性之三圖樣微影感知的細部繞線器。在此 研究中,繞線器…
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